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晶圆级 WAT/PCM/WLR 测试

• 测试目的：晶圆验收测试(WAT)或过程控制监控(PCM)是

通过测试放置在晶圆预定测试位置上的各种测试结构，

以得到晶圆的良好性或适合性的初始测量。对其进行分

析，有助于找到阻碍产量和造成运营效率地下的故障原

因。

• 晶圆可靠性可以实现TDDB, NBTI, PBTI, HCI 等测试功能，

使用多态源表实现并行测试功能，提高测试效率

• 系统特点：S530-HV支持1100V高压测试，高电流精度，

支持过压过流保护功能。极高的软件测试效率